UV-EX Compact Litografi Cihazı

Kompakt UV Litografi Sistemi

• 11.6 İnç Dokunmatik Ekran.
• 2 İnç ve 4 İnç Waferlara Uyumlu Vakumlu Tutucu.
• 5″ Maske İçin Vakumlu Tutucu.
• LED UV Işık Kaynağı.
• 365 nm Dalga Boyu.
• Zaman Ayarı (1 sn’lik Adımlar).
• Poz Ayarı (% 10 -% 100).
• Vakum Pompası.
• Solenoid Vakum Vanaları.
• Vakum Temaslı Litografi.
• UV-EX Pro Maske Hizalama Cihazı’na Yükseltme İmkânı