UV-EX Compact Litografi Cihazı

Kompakt UV Litografi Sistemi

  • Dijital Dokunmatik Ekran.
  • Vakumlu Wafer Tutucu.
  • Vakumlu 5″ Maske Tutucu.
  • LED UV Işık Kaynağı.
  • 365 nm Dalga Boyu.
  • Zaman Ayarı (1 sn’lik Adımlar).
  • Poz Ayarı (% 10 -% 100).
  • Vakum Pompası.
  • Solenoid Vakum Vanaları.
  • Vakum Temaslı Litografi.