UV-EX Compact Litografi Cihazı

Kompakt UV Litografi Sistemi

• Dijital Dokunmatik Ekran.
• Vakumlu Wafer Tutucu.
• Vakumlu 5″ Maske Tutucu.
• LED UV Işık Kaynağı.
• 365 nm Dalga Boyu.
• Zaman Ayarı (1 sn’lik Adımlar).
• Poz Ayarı (% 10 -% 100).
• Vakum Pompası.
• Solenoid Vakum Vanaları.
• Vakum Temaslı Litografi.