UV-EX Compact Litografi Cihazı
Kompakt UV Litografi Sistemi
- Dijital Dokunmatik Ekran.
- Vakumlu Wafer Tutucu.
- Vakumlu 5″ Maske Tutucu.
- LED UV Işık Kaynağı.
- 365 nm Dalga Boyu.
- Zaman Ayarı (1 sn’lik Adımlar).
- Poz Ayarı (% 10 -% 100).
- Vakum Pompası.
- Solenoid Vakum Vanaları.
- Vakum Temaslı Litografi.