Gebze Teknik Üniversitesi Mikroakışkan Çip Laboratuvarı’ndaki litografi işlemleri UV-EX Pioneer maske hizalayıcı ile yapılıyor. Bu cihazla çok katlı litografi yöntemiyle mikroakışkan çipler, mikro desenler ve mikro sensörler üretebiliyor.

Gebze Teknik Üniversitesi Mikroakışkan Çip Laboratuvarı’ndaki litografi işlemleri UV-EX Pioneer maske hizalayıcı ile yapılıyor. Bu cihazla çok katlı litografi yöntemiyle mikroakışkan çipler, mikro desenler ve mikro sensörler üretebiliyor.